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鲁氏真空泵运转时，转子与转子、转子与汽缸间维持着极小的间隙（大约在十分之几毫米），以高速运转而彼此互不摩擦，造成出入口间的压力差，因此在中高真空范围下能有特优的排气速度。
鲁氏真空泵系由鲁氏鼓风机发展而来，是一种容积形真空帮浦。在汽缸内有两个〞8〝字型的转子由外部的两个同步齿轮带动，以相反方向转动，达成吸气的动作，齿轮和轴承系以润滑油来润滑，油箱与汽缸内部隔绝。容积效率随着真空泵的排气速度大小而变化，一般两者间的排气速度比大约在5~10之间，视使用的场合以及压力来决定。
鲁氏真空泵的特点：
1.特佳的容积效率。
2.宽广的使用范围，高排气速度。
3.运转平稳，噪音极低。
4.润滑油不会污染转子和汽缸内部。
5.运转可靠，维护简单。
6.因属气冷式，不需冷却水。
7.轴承及齿轮均使用润滑油润滑。
8.持续高效运转，转子不需添加润滑油
9.安全阀灵敏度高5%，运行更安全
10.齿轮采用高级合金钢材料，经久耐用
在真空下，有相当广的压力使用范围，一般而言，大致从-1000mmaq~-5000mmaq之间，如与油回转真空泵浦组配成真空排气系统，可在中高真空下得到大量之排气速度。当被抽气体中含有大量的水气或其它可凝结性气体时，可选择液封式真空泵浦作为辅助泵浦，如此在低压下仍可维持高的排气速度，可节省马力，同时又不会因有水份或其它凝结性气体而损及泵浦。
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鲁氏真空泵